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Home > Issues > Volume19 (2009) > No.6(pp191-232)

버퍼층 Ta에 의존하는 코네틱 박막의 연자성 자기저항 특성

한국자기학회지, Volume 19, Number 6, 31 Dec 2009, Pages 197-202
최종구 (상지대학교 대학원 동서의료공학과), 황도근 (상지대학교 한방의료공학과), 이상석 * (상지대학교 한방의료공학과), 최진협 (단국대학교 전자물리학과), 이기암 (단국대학교 전자물리학과), 이장로 (숙명여자대학교 물리학과)
Abstract

코닝유리(Corning glass) 기판 위에 이온빔 증착법으로 제작한 버퍼(Ta)/코네틱(Conetic; NiFeCuMo) 박막에 대해 버퍼층에 의존하는 결정성장과 열처리 효과를 조사하였다. 또한 코네틱층을 증착할 때에 인가한 자기장 방향으로 용이축과 곤란축의 자기저항 곡선으로부터 얻은 보자력과 포화자기장값을 버퍼층 유무에 따라 서로 비교하였다. Ta 박막의 두께가 5 nm이고 코네틱 박막의 두께가 50 nm일 때에 보자력은 0.12 Oe으로 작았으며, MH 히스테리시스 곡선에서 얻은 자화율(χ)은 1.2 × 104으로 우수한 연
자성의 특성을 가졌다. 저자기장에 민감한 거대자기저항 스핀밸브(GMR-SV; giant magneoresistance-spin valve)나 자기터널링접합(MTJ; megnetic tunnel junction) 박막구조에서 자유층으로 연자성의 특성이 우수한 코네틱 박막을 사용할 수 있는 가능성을 확인하였다.

The property of soft magnetism for the Corning glass/non-buffer or buffer Ta/Conetic(NiFeCuMo)/Ta prepared by the ion beam deposition sputtering was studied. The effect of crystal property and post annealing treatment depending on the thickness of Conetic thin films was investigated. The coercivities of Conetic thin films with easy and hard direction along to the applying magnetic field during deposition were compared with each other. The coercivity and magnetic susceptibility of Ta(5 nm)/Conetic(50 nm) thin film
were 0.12 Oe and 1.2 × 104, respectively. From these results, firstly, the Conetic thin film was more soft magnetism thin film than other one such as permalloy NiFe. Secondly, the usage of soft magnetism Conetic thin film for GMR-SV (giant magneoresistance-spin valve) or MTJ (Megnetic Tunnel Junction) structure in a low magnetic field can be possible.

 

Keywords: 버퍼층; 코네틱(NiFeCuMo) 박막; 보자력; 연자성; 후열처리; buffer layer; Conetic(NiFeCuMo) thin film; coercivity; soft magnetism; post annealing treatment
DOI: 10.4283/JKMS.2009.19.6.197